Bewerking van componenten van halfgeleiderapparatuur
2024-11-26
Klantvereisten: Een halfgeleiderfabriek had een set op maat gemaakte aluminiumlegeringsonderdelen nodig voor hun geavanceerde halfgeleiderproductieapparatuur.Deze onderdelen moesten een uiterst hoge vlakheid en dimensionale nauwkeurigheid hebben.Zo moest de oppervlaktevlakte van een component voor de sleutelplaat binnen ± 0,002 mm liggen om de precieze plaatsing en beweging van de wafers tijdens het halfgeleiderfabricageproces te garanderen.Bovendien, de onderdelen die een uitstekende thermische geleidbaarheid en een minimale oppervlaktebuigzaamheid moeten hebben om storingen bij de zeer gevoelige halfgeleiderfabricage te voorkomen.
Oplossingen en bewerkingsprocessen:
CNC-freeswerk voor precisievorming: Het bedrijf gebruikte een CNC-freesmachine met een hoge precisie om de onderdelen van de aluminiumlegering te vormen.Technici ontwierpen zorgvuldig de werktuigpaden en optimaliseerden de snijparameters om de vereiste vlakheid en afmetingsnauwkeurigheid te bereikenOm de ruwheid van het oppervlak tot een minimum te beperken, werden met diamant beklede snijgereedschappen gebruikt en werd een meerstaps afwerkingsproces ingevoerd.Hierbij moest het fijn worden gemalen en vervolgens voorzichtig gepolijst om ervoor te zorgen dat het oppervlak zo glad mogelijk was.
Kwaliteitscontrole en warmtebehandeling: Na de eerste bewerking werden de onderdelen onderworpen aan een strikt kwaliteitscontroleproces met behulp van geavanceerde metrologische apparatuur zoals coördinaten meetmachines en oppervlakte profilometers.Alle onderdelen die niet aan de eisen inzake nauwkeurigheid of oppervlakteafwerking voldeden, zijn opnieuw bewerktVervolgens werden de onderdelen aan een warmtebehandeling onderworpen om hun warmtegeleidbaarheid te verbeteren en eventuele interne spanningen die tijdens de bewerking zouden kunnen zijn ontstaan, te verminderen.Deze warmtebehandeling werd zorgvuldig gekalibreerd om ervoor te zorgen dat het de dimensionale stabiliteit van de onderdelen niet beïnvloedde.
Resultaten en feedback van klanten: De op maat gemaakte aluminiumlegeringsonderdelen zijn met succes geïntegreerd in de halfgeleiderproductieapparatuur.De prestaties van de apparatuur en de waferproductie zijn aanzienlijk verbeterd door de hoogwaardige componentenHet halfgeleiderbedrijf was zeer tevreden over de bewerkingsresultaten en de aandacht voor detail.Zij prezen het bedrijf voor zijn vermogen om te voldoen aan de veeleisende technische specificaties van de halfgeleiderindustrie en ondertekenden een langetermijnleveringscontract voor toekomstige componentenbehoeften.
